مقاله ساخت قطعه در ابعاد میکرو - سیویلیکا
ساخت درا ندازه میکرو ، میکرو ماشین کاری ، LCVD ، استریو لیتوگرافی ، LIGA. لیست زیر مراجع و منابع استفاده شده در این مقاله را نمایش می دهد. این مراجع به صورت کاملا ماشینی و بر اساس هوش مصنوعی استخراج شده اند و لذا ممکن است دارای اشکالاتی باشند که